固定式碳酰氟檢測儀是用來檢測環(huán)境中的碳酰氟濃度，并在其濃超標時報警。碳酰氟又名氟光氣，主要用作半導體制造裝置的清洗氣和蝕刻氣，也用于有機合成的中間體、氟化劑；碳酰氟為無色、有刺激性的有毒氣體，遇水會快速水解，生成二氧化碳和氟化氫。

產(chǎn)品技術參數(shù)

檢測氣體：碳酰氟COF2,氟光氣

產(chǎn)品型號：ERUN-PG51-CF

分辨率：0.001ppm（0-10ppm高精度）/0.01ppm（0～10 ppm）；0.01ppm（0～100 ppm），0.1ppm（0～1000 ppm），1ppm（0～5000 ppm以上）；0.01MG/L；0.1%LEL；0.01%，0.001%Vol，其他分辨率可訂制

檢測原理：電化學、催化燃燒、紅外、熱導、半導體、PID光離子等（根據(jù)現(xiàn)場環(huán)境和用戶需求訂制）

檢測精度：≤±3%F.S；重復性：≤±2%

線性度：≤±2%；不確定性：≤±2%

響應時間：T90≤20秒；恢復時間：≤30秒

信號輸出：總線制RS485信號，分線制4~20mA；選配：0~20mA、1~5V、0~5V、0~10V、無線傳輸、網(wǎng)絡傳輸、短信報警

工作電壓：12~30VDC直流電，單臺設備的標準電源為24V、1A或大于1A直流電

報警方式：默認1路，可選2路無源接觸點（干節(jié)點）輸出，三級報警，報警點可設置現(xiàn)場聲光報警

防護等級：IP65防水防塵

防爆功能：ExdllCT6Gb；隔爆型

界面語言：默認中文，中英文可選

顯 示 屏：1.7高清彩屏

顯示方式：單通道顯示

安裝方式：管道式、壁掛式

工作方式：在線擴散式/管道式檢測。選配：泵吸式/流通式

報警模式：低報警、高報警、區(qū)間報警

校準功能：零點自動跟蹤、目標點多級校準

誤操作識別：自動識別并阻止

數(shù)據(jù)恢復：全部恢復，選擇性恢復（濃度、報警、全部）

日志記錄：校準日志、維修日志、故障記錄、故障解決對策

工作環(huán)境：溫度-40℃~+70℃、濕度0-99%RH

重量：1.5KG

預處理（選配）：常溫高濕預處理系統(tǒng)、高溫高濕度預處理系統(tǒng)、高溫高濕高粉塵預處理系統(tǒng)

此款儀器為固定在線式安裝，可連接輸氣管道；直流電供電，中英文雙語可切換；防護等級為IP65，防爆類型為隔爆型，外殼采用防爆材料制成，適用于各種復雜工況；1.7寸高清彩色顯示屏，清晰顯示濃度、時間、溫濕度等信息。

碳酰氟是一種刺激性強、無色有毒的氣體，對人體呼吸道粘膜和皮膚有強烈刺激性作用，是新一代工業(yè)半導體設備的清洗和刻蝕材料，雖然對環(huán)境的污染不大，但是對人體健康有很大的危害。在制備、生產(chǎn)以及使用的過程中要注意檢測其濃度變化，可使用固定式碳酰氟檢測儀檢測。